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標準氣體
高純?nèi)然?/span>
高純?nèi)然?用作硅和鍺外延、擴散和離子注入過程的P型摻雜源。用于光導纖維、藥品和耐熱涂料的制造。還可用作鋁的氣相刻蝕劑。制造IMDRAM需用三氯化硼，可提高集成電路產(chǎn)率。
高純?nèi)然?/a>用作硅和鍺外延、擴散和離子注入過程的P型摻雜源。用于光導纖維、藥品和耐熱涂料的制造。還可用作鋁的氣相刻蝕劑。制造IMDRAM需用三氯化硼，可提高集成電路產(chǎn)率。
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