深冷空分制氮是一種傳統(tǒng)的制氮（氮?dú)猓┺k法，已有近九十年的前史。它是以空氣為原料，經(jīng)過(guò)壓縮、凈化，再利用熱交換使空氣液化成為液空。液空主要是液氧和液氮的混合物，利用液氧和液氮的沸點(diǎn)不同(在1大氣壓下，前者的沸點(diǎn)為-183℃，后者的為-196℃)，經(jīng)過(guò)液空的精餾，使它們分離來(lái)獲得氮?dú)?。深冷空分制氮設(shè)備復(fù)雜、占地面積大，基建費(fèi)用較高，設(shè)備一次投資較多，運(yùn)轉(zhuǎn)本錢較高，產(chǎn)氣慢(12～24h），設(shè)備要求高、周期較長(zhǎng)。綜合設(shè)備、設(shè)備及基建諸因素，3500Nm3／h以下的設(shè)備，相同標(biāo)準(zhǔn)的PSA設(shè)備的投資規(guī)模要比深冷空分設(shè)備低20％～50％。深冷空分制氮設(shè)備宜于大規(guī)模工業(yè)制氮，而中、小規(guī)模制氮就顯得不經(jīng)濟(jì)。